Pulverização Catódica Feixe De Iões Ion Beam Deposition Deposição Por Pulverização Catódica Deposição Física De Vapor De Iões De Beamassisted Deposição A Deposição A Vácuo A Evaporação Fonte De íons Deposição De Vapor Químico De Iões De Revestimento Vácuo Focada Feixe De Iões Ultra Vácuo Máquina ângulo De